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PERC管式鍍膜石墨舟污染異常解決方案

發(fā)布時間:2020-06-29 點擊次數(shù):4481

管式鍍膜在硅片表面沉積一層氮化硅減反射膜,增強光的吸收與鈍化作用,鍍膜故障部分存在解決時間比較長,分析困難的情況,本文將介紹管式鍍膜舟污染異常情況,期待與您共同進步。


1. 故障描述
 

1.1 管式鍍膜5管膜后硅片折射率異常,現(xiàn)場石墨舟被污染,懷疑硅烷流量計實際流量大。

PERC 210大型石墨舟



2. 故障處理分析

2.1 檢查5管的整管的真空情況,漏氣保壓情況均無異常,但通過現(xiàn)場污染情況以及折射率,流量計控制異??赡苄暂^大;


2.2 懷疑硅烷流量計異常;

a. 手動測試現(xiàn)用的硅烷流量無異常,懷疑硅烷流量計實際值與顯示值偏大。

image.png

b. 更換返修的硅烷流量計,手動測試流量計無異常,但在做2-3舟正常工藝后仍出現(xiàn)膜后片子折射率異常,并且蝶閥的開度在工藝步下一舟的開度比前一舟的大。

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c. 再次更換新的硅烷流量計,氦檢真空管路未發(fā)現(xiàn)異常,手動測試流量計無異常,但在做正常工藝2-3舟后出現(xiàn)膜后片子折射率異常,再次測試硅烷流量計發(fā)現(xiàn)同樣500sccm的流量,5管的壓力值比其他管明顯上升。

2.3 懷疑NH3流量計異常,驗證無異常;

a. 調(diào)低硅烷流量,懷疑NH3流量計異常,導致實際NH3流量低造成硅烷無法完全反應造成。

b. 更換返修的氨氣流量計,手動測試氨氣流量、壓力都正常,但在做2-3舟正常工藝后仍出現(xiàn)膜后片子折射率異常。

image.png

c. 再次測試氨氣流量計發(fā)現(xiàn)氨氣流量控制不穩(wěn),再次更換氨氣流量計,手動測試氨氣流量、壓力都正常。

d. 但在做2-3舟正常工藝后仍出現(xiàn)膜后片子折射率異常且蝶閥開度不斷增大,手動測試氨氣流量、壓力都正常,排除氨氣流量計異常。

2.4 懷疑主抽內(nèi)部漏氣、真空不足造成,驗證無異常;

a. 更換主抽,懷疑可能真空泵抽真空能力不足造成,更換返修的真空泵,測試無效。

b. 與正常的工藝爐管對調(diào)主抽、蝶閥、預抽、壓力計、真空泵,正常工藝2-3舟后仍出現(xiàn)膜后片子折射率異常。

c. 通過對調(diào)排除了主抽、蝶閥、預抽、壓力計、真空泵。

2.5 懷疑DPC控制箱、流量計控制信號線異常,驗證無異常;

a. 與正常管對調(diào) DPC整個控制箱、硅烷流量計控制線。

b. 手動測試硅烷流量無異常。

c. 但做正常工藝,做2-3舟后仍出現(xiàn)膜后片子折射率異常。

d. 通過對調(diào)排除了DPC控制箱內(nèi)的控制板,硅烷流量計控制線。


2.6 懷疑硅烷控制氣動閥異常,結果無異常;

a. 與氬氣管路對調(diào)3個氣動閥。

b. 手動測試硅烷流量無異常。

c. 做正常工藝,但做2-3舟后仍出現(xiàn)膜后片子折射率異常。


2.7 懷疑硅烷管道異常;

a. 為測試排除其他因素影響,重新更換3個新的控制硅烷流量計的氣動閥。

b. 拆除硅烷手閥以后的管路,發(fā)現(xiàn)硅烷流量計進氣管道的一節(jié)有很薄的一層氧化物。

c. 用氣槍吹掃管路,酒精浸泡管路并用布擦拭管路內(nèi)部,清理內(nèi)部臟污。

d. 為避免流量計被臟污顆粒再次污染,更換新的硅烷流量計;

e. 安裝完成后,手動測試硅烷流量計無異常。

f. 做正常工藝,膜后片子折射率無異常,工藝恢復正常。


3. 結論總結


3.1針對此次異常故障,存在重復排查情況,硅烷流量計重復更換多次,耗費時間較長;

3.2測試過程中的流量計在初次測試過程中無異常,但在每次試做2-3個工藝循環(huán)后出現(xiàn)問題,問題來源管道臟污的關系較大,后期可作為流量異常的參考;


3.3如果故障一時無法判斷,可采取利用排除方法進行硬件更換,來縮小排查范圍,提高問題處理效率;

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